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PECVD
/ PECVD是什么意思
英文缩写
PECVD
英文全称
plasma enhanced chemical vapor deposition
中文解释
等离子增强的化学蒸发沉积
缩写分类
电子电工 化学化工
缩写简介
一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。
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